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產(chǎn)品描述
邁博瑞PoliCap-Plus系列是專為先進(jìn)的CMP應(yīng)用設(shè)計(jì)的 囊式濾芯，尤其適用于含膠體SiO2、CeO2和超細(xì)Al2O3 研磨劑的CMP slurry。結(jié)構(gòu)上來說，便捷的拋棄式設(shè)計(jì) 可以實(shí)現(xiàn)快速安裝，盡可能地減少slurry暴露和浪費(fèi)。 PoliCap-Plus系列囊式濾芯可配合多種不同接口使用， 滿足不同應(yīng)用需求 。
產(chǎn)品特點(diǎn)
純PP材質(zhì)，降低成本
拋棄式設(shè)計(jì)，方便更換并減少slurry暴露
低滯留體積，減少slurry浪費(fèi)并防止其沉積
提供多種接口選擇
低壓損和優(yōu)秀的顆粒去除效率
高納污量，較長(zhǎng)的使用壽命
典型應(yīng)用
產(chǎn)品保證
工作特性
| 材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
| 外殼/中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| - | - | |
| 精度 | 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm | |
| 接口形式 | 進(jìn)出口 | 3/8” Flaretek1 |
| Easy-touch | ||
| 排氣/排液口 | - | |
| - | ||
| 尺寸規(guī)格 | 外徑 | 93mm |
| 濾芯直徑 | 69mm | |
| 長(zhǎng)度 | 5inch | |
| 最大使用壓力 | 0.34 MPa (50 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.24 MPa (35 psi) @ 21 ?C (70 ?F) |
| 0.40 MPa (58 psi) @ 82 ?C (176 ?F) | ||
| 最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最高使用溫度 | 80 ?C (176?F) | |
產(chǎn)品尺寸
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流量-壓差曲線圖
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訂購(gòu)信息
