產(chǎn)品描述
邁博瑞Photo-Novel系列Nylon濾芯具有高流速,高攔截效率和高有機(jī)潔凈度等特性。它是一款專(zhuān)為光刻膠,有機(jī)溶劑等SEMI光刻工藝中的過(guò)濾而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。
在Photo-Novel系列中使用的Nylon膜是天然的親水尼龍材料。其本身具備低金屬析出和低顆粒脫落性能,并且在有機(jī)溶劑中的有機(jī)物溶出量非常低。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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高過(guò)濾效率
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天然親水性能
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優(yōu)秀的有機(jī)溶出潔凈度
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在潔凈車(chē)間中生產(chǎn)完成
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100%濾芯完整性檢測(cè)
典型應(yīng)用
產(chǎn)品保證
工作特性
材 料 | 濾膜 | Nylon 66 |
支撐層,外殼 | HDPE/PP | |
密封圈 | EPDM/TEV | |
精度 | 2nm, 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm | |
膜面積 | SX (φ68mm) | 0.7m²/10" |
SY (φ68mm) | 1.3m²/10" | |
最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.34 MPa (49 psi) @ 25℃ (77 °F) |
最大反向壓差 | 0.24 MPa (34 psi) @ 25℃ (77 °F) | |
最高使用溫度 | 40℃ (104 °F) | |
包裝方式 | 干包裝;超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝 |
產(chǎn)品尺寸
流量-壓差曲線圖
訂購(gòu)信息
PNC |
支撐層 |
精度 |
直徑 |
端蓋 |
長(zhǎng)度 |
密封圈 |
金屬潔凈度 |
包裝方式 |
/(HDPE) P(PP) |
T(2nm) F(5nm) E (10nm) A (20nm) C (30nm) G (50nm) B (0.1μm) |
SX(φ68mm,0.7m2) SY(φ68mm,1.3m2) |
N(222 平頭) |
04 (4”) 10 (10”) 20 (20”) |
P (EPDM) T (TEV) |
U(<3ug/device) R(<25ug/device) |
D (干包裝) W (超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝) |